晶体管是现代信息技术中最重要的发明之一,是所有现代电路的关键主动元件。一直以来,晶体管沿着摩尔定律的方向不断发展,缩小器件特征尺寸,增快器件开关速度。但是随着晶体管的沟道长度缩短至10纳米,短沟道效应和量子限域效应带来的影响已经不能忽略,沟道长度缩短与器件性能提升不能完全对应。因此为了保持晶体管的继续发展和克服短沟道效应带来的影响,对半导体材料的质量要求越来越高,厚度要求越来越薄。二维半导体材料成为克服短沟道效应的潜在候选之一。
报告将介绍二维半导体的异质集成与器件构筑;采用范德华异质集成和超薄缓冲层方法,抑制传统沉积技术产生的缺陷,降低栅介质/二维材料的界面缺陷密度,削弱金属/二维材料的钉扎效应,获得了高质量的器件界面。上述工作为二维半导体器件设计与构建提供了新的思路。