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仪器使用日志

大型仪器预约使用说明

仪器名称 仪器简介 仪器备注 仪器管理员 使用预约 使用日志
金属有机物化学气相沉积系统       预约平台>> 日志>>
高精度电子真空镀膜系统       预约平台>> 日志>>
电感耦合等离子刻蚀机       预约平台>> 日志>>
扫描探针显微镜   分辨能力:面内0.2nm, 垂直0.01nm ;扫描范围:标准扫描器最大可扫描面积 20μm*20um,垂直方向行程±1um ;样品尺寸:直径不超过35mm,高度不超过10mm;  本套设备包括精工SPA400显微镜和Nanonavi控制系统;主要用于半导体材料样品表面形貌及粗糙度等情况的分析研究;仪器较为精密复杂,测试须在工作人员指导操作下完成;预约时说明待测样品数量和表面基本情况,有何特殊扫描要求,并保证样品清洁干净,符合测量标准;   预约平台>> 日志>>