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半导体光子学研究中心

厦门大学半导体光子学研究中心始建于2002年。中心以GaN基、SiGe基和ZnO基等材料生长为基础,以量子阱低维结构为途径,以光电子器件和集成芯片为目标,有计划、分阶段地不断推出高水平的科研成果。
中心在我国光电子领域著名科学家王启明院士的领导下,现有高级研发人员十多名。45岁以下的中青年教师占绝大多数,具有博士学位研究人员约占主要科研人员的80%以上,形成了专业配备齐全、结构层次合理的科研队伍。中心依托厦门大学物理学一级学科博士后科研流动站、物理学一级学科博士点、二级工科博士点培养面向社会的高层次研发人才。同时与厦门市相关知名企业联合形成了厦门市产学研基地。目前中心承担863、973、国家自然科学基金等纵向科研项目十多项。

中心已建有的主要设备有:
1. 金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统,将着重开展GaN基半导体异质结构、多量子阱结构等学术研究及其相关光电子器件产品开发。
2. 分子束外延薄膜生长及表征系统(MBE/SPM)系统,将主要用于开展ZnO基半导体特性研究,推动ZnO基半导体在光电器件中的应用。
3. 双生长室超高真空化学气相沉积(UHV-CVD)系统,将主要探索Si基能带工程和器件的研发。
4. 高精度电子束真空镀膜(E-BEAM)系统,主要用于蒸镀各种光学薄膜。